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Le calibrateur à dilution dynamique FPI AQMS-200 utilise deux régulateurs de débit massique pour effectuer un étalonnage standard du zéro et de la plage avec jusqu'à 4 sources de gaz.
Le calibrateur à dilution dynamique FPI AQMS-200 utilise deux régulateurs de débit massique pour effectuer un étalonnage standard du zéro et de la plage avec jusqu'à 4 sources de gaz.
| Plage de débit du gaz de dilution | 0~10SLPM, extensible |
|---|---|
| Gamme de débit de gaz standard | 0~100sccm ; extensible |
| Précision du débit | ±1% F.S. |
| Linéarité | ±(0.5~1)% F.S. |
| Répétabilité | ±0,2% F.S. |
| Entrée du gaz d'étalonnage | 4 |
| Ports d'entrée du gaz diluant | 1 |
| Sortie | 0,1~6ppm |
| Répétabilité | ≤1%F.S. |
| Linéarité | ≤1%F.S. |
| Gamme | (0~0,5)ppm, (0~10)ppm |
| Précision | 1,0ppb |
| Linéarité | 1% F.S. |
| Temps de montée/descente | <30s |
| Temps de réponse | 180s(90%) |
| Dérive nulle | <1.0ppb/24h |
| Dérive de portée | <1% F.S./24h |
| Puissance requise | (220±10%)V AC/(45~55)Hz, puissance≤150W |
|---|---|
| Température de fonctionnement | 0 à 40 °C |
| Humidité de fonctionnement | 0~95%RH (sans condensation) |
| Sortie | RS232/RS485/Ethernet |
| Dimensions et poids | 609×432×178mm, ≤20kg |
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