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FPI AQMS-200 ダイナミック希釈校正器は、2 台のマス・フロー・コントローラーを使用して、最大 4 つのガス・ソースで標準ゼロ校正とスパン校正を行います。.
| Base Unit | |
| Diluent Gas Flow Range | 0–10 SLPM (expandable) |
| Flow Linearity | < ±1% F.S. (within 20%–80% of full scale) |
| Source Gas Flow Range | 0–100 sccm (expandable) |
| Flow Linearity | < ±1% F.S. (within 20%–80% of full scale) |
| Ozone Calibration Module | |
| 直線性 | < ±1% F.S. |
| 再現性 | ≤1% F.S. |
| Response Time (T98) | ≤300 s |
| Zero Drift (24 h) | < ±1 ppb |
| スパン・ドリフト | < ±5 ppb |
| O3 Concentration Accuracy | ±2% of reading (within 50–500 ppb range) |
| UV光度計（オプション） | |
| 範囲 | (0-0.5) ppm, (0-10) ppm |
| 精密 | 1.0 ppb |
| 直線性 | 1% F.S. |
| ライズ／フォールタイム | <30 s |
| 応答時間 | 180 s(90%) |
| ゼロドリフト | <1.0 ppb/24h |
| レンジドリフト | <1% F.S./24時間 |
| フィジカルとコミュニケーション | |
| 所要電力 | (220±10%)V AC/(45-55) Hz, power≤150 W |
| 動作温度 | 0-40°C |
| 使用湿度 | 0-95% RH (No condensation) |
| 出力 | RS232/RS485/イーサネット |
| 寸法と重量 | 609×432×178 mm, ≤20 kg |
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