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Le calibrateur à dilution dynamique FPI AQMS-200 utilise deux régulateurs de débit massique pour effectuer un étalonnage standard du zéro et de la plage avec jusqu'à 4 sources de gaz.
Le calibrateur à dilution dynamique FPI AQMS-200 utilise deux régulateurs de débit massique pour effectuer un étalonnage standard du zéro et de la plage avec jusqu'à 4 sources de gaz.
| Base Unit | |
| Diluent Gas Flow Range | 0–10 SLPM (expandable) |
| Flow Linearity | < ±1% F.S. (within 20%–80% of full scale) |
| Source Gas Flow Range | 0–100 sccm (expandable) |
| Flow Linearity | < ±1% F.S. (within 20%–80% of full scale) |
| Ozone Calibration Module | |
| Linéarité | < ±1% F.S. |
| Répétabilité | ≤1% F.S. |
| Response Time (T98) | ≤300 s |
| Zero Drift (24 h) | < ±1 ppb |
| Déviation de portée | < ±5 ppb |
| O3 Concentration Accuracy | ±2% of reading (within 50–500 ppb range) |
| Photomètre UV (en option) | |
| Gamme | (0-0.5) ppm, (0-10) ppm |
| Précision | 1.0 ppb |
| Linéarité | 1% F.S. |
| Temps de montée/descente | <30 s |
| Temps de réponse | 180 s(90%) |
| Dérive nulle | <1.0 ppb/24h |
| Dérive de portée | <1% F.S./24h |
| Physique et communication | |
| Puissance requise | (220±10%)V AC/(45-55) Hz, power≤150 W |
| Température de fonctionnement | 0-40°C |
| Humidité de fonctionnement | 0-95% RH (No condensation) |
| Sortie | RS232/RS485/Ethernet |
| Dimensions et poids | 609×432×178 mm, ≤20 kg |
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