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O calibrador de diluição dinâmica AQMS-200 da FPI utiliza dois controladores de caudal mássico para efetuar a calibração padrão de zero e de amplitude com um máximo de 4 fontes de gás.
O calibrador de diluição dinâmica AQMS-200 da FPI utiliza dois controladores de caudal mássico para efetuar a calibração padrão de zero e de amplitude com um máximo de 4 fontes de gás.
| Gama de caudais de gás de diluição | 0~10SLPM, expansível |
|---|---|
| Gama de caudal de gás padrão | 0~100sccm; expansível |
| Precisão do caudal | ±1% F.S. |
| Linearidade | ±(0,5~1)% F.S. |
| Repetibilidade | ±0,2% F.S. |
| Entrada de gás de calibração | 4 |
| Orifícios de entrada de gás diluente | 1 |
| Saída | 0,1~6ppm |
| Repetibilidade | ≤1%F.S. |
| Linearidade | ≤1%F.S. |
| Gama | (0~0,5)ppm, (0~10)ppm |
| Precisão | 1.0ppb |
| Linearidade | 1% F.S. |
| Tempo de subida/descida | <30s |
| Tempo de resposta | 180s(90%) |
| Desvio zero | <1.0ppb/24h |
| Desvio de alcance | <1% F.S./24h |
| Necessidade de energia | (220±10%)V AC/(45~55)Hz, potência≤150W |
|---|---|
| Temperatura de funcionamento | 0~40℃ |
| Humidade de funcionamento | 0~95%RH (Sem condensação) |
| Saída | RS232/RS485/Ethernet |
| Dimensões e peso | 609×432×178mm, ≤20kg |
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