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コンテンツにスキップ FPI AQMS-200 ダイナミック希釈校正器は、2 台のマス・フロー・コントローラーを使用して、最大 4 つのガス・ソースで標準ゼロ校正とスパン校正を行います。.
| 希釈ガス流量範囲 | 0~10SLPM、拡張可能 |
|---|---|
| 標準ガス流量範囲 | 0~100sccm; 拡張可能 |
| 流量精度 | ±1% F.S. |
| 直線性 | ±(0.5~1)% f.s. |
| 再現性 | ±0.2% F.S. |
| 校正ガス入力 | 4 |
| 希釈ガス入力ポート | 1 |
| 出力 | 0.1~6ppm |
| 再現性 | ≤1%F.S. |
| 直線性 | ≤1%F.S. |
| 範囲 | (0~0.5)ppm、(0~10)ppm |
| 精密 | 1.0ppb |
| 直線性 | 1% F.S. |
| ライズ／フォールタイム | <30s |
| 応答時間 | 180秒(90%) |
| ゼロドリフト | <1.0ppb/24時間 |
| レンジドリフト | <1% F.S./24時間 |
| 所要電力 | (220±10%）V AC/（45~55）Hz, パワー≤150W |
|---|---|
| 動作温度 | 0~40℃ |
| 使用湿度 | 0~95%RH（結露なし） |
| 出力 | RS232/RS485/イーサネット |
| 寸法と重量 | 609×432×178mm、≦20kg |
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