オゾンには波長254nmに顕著な吸収があるため、周囲のオゾン濃度は紫外線吸収に比例する。.
オゾンスクラバーを通過するサンプル流を定期的に分流することで、基準測定値が生成され、サンプル測定値と比較され、安定した代表的な結果が得られます。.
| 測定方法 | 紫外線測光 |
| 測定範囲 | 0-500 ppb |
| ゼロ・ノイズ | ≤ 0.1 ppb |
| スパン・ノイズ | ≤ 1 ppb |
| 検出下限値 | ≤ 0.2 ppb |
| 直線性 | ± 1% F.S. |
| 20% Range Precision | ≤ 1 ppb |
| 80% Range Precision | ≤ 2 ppb |
| 24h Zero Drift | ± 0.5 ppb |
| 24h 20% Range Drift | ± 4 ppb |
| 24h 80% Range Drift | ± 4 ppb |
| Response Time (Rise/Fall) | ≤ 20 s |
| Voltage Stability | ± 0.4% F.S. |
| 流れの安定性 | ≤ ± 10% |
| Ambient Temperature Interference | < 0.2 ppb/℃ |
| Long-term Zero Drift (7d) | < ± 0.5 ppb |
| Long-term Span Drift (7d) | < ± 4 ppb |
| Water Interference (2% H₂O) | < ± 0.15% F.S. |
| NO₂Interference (500 ppb) | < ± 0.15% F.S. |
オゾンスクラバー
オゾンスクラバーには触媒としてMnO2が充填され、O3をO2に変換して基準ガスを形成する。一方、他の成分の存在は変わらない。.
データの保存と分析
保存されたデータは、PCクライアント・ソフトウェアを介してシリアル・ポートまたはイーサネット・ポートから簡単に取り出すことができ、オペレーターは、パラメーターの傾向を追跡することにより、予測診断や拡張データ分析を実行することができます。.
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