صُمم جهاز EXPEC 7350S Plus لتصنيع الرقاقات المتقدمة والمواد عالية النقاء والتطبيقات الصناعية المتطورة الأخرى، ويجمع بين إمكانية الكشف عن الرقاقات الفرعية وتوافق سير العمل الآلي وتصميم النظام الذي يركز على التطبيقات لدعم التحكم في التلوث بشكل أكثر إحكامًا وكفاءة تحليلية أكبر.
أعلنت شركة "إف بي آي" عن إطلاق مطياف الكتلة بالبلازما المقترنة بالحثّ الرباعي (ICP-MS/MS) من سلسلة "إكسبيك 7350 إس بلاس". ويوفر هذا النظام المبني على منصة ICP-MS الراسخة للشركة والمحسّن خصيصًا لسير عمل أشباه الموصلات والتصنيع المتطور، قدرة كشف المعادن فائقة التتبع دون مستوى التتبع ويدعم التطبيقات الهامة مثل تحليل أيونات المعادن السطحية المرتبطة بعمليات الرقائق المتقدمة مقاس 12 بوصة.
ما أهمية تحليل المعادن فائقة التتبع في تصنيع أشباه الموصلات؟
مع استمرار تصنيع أشباه الموصلات في التحرك نحو عقد معالجة أكثر تقدمًا، أصبح تحمل الشوائب المعدنية محدودًا بشكل متزايد. حتى أن المستويات المنخفضة للغاية من التلوث المعدني المتبقي يمكن أن تؤثر على استقرار العملية وأداء الجهاز والعائد الكلي. لذلك أصبحت القدرة التحليلية لأيونات المعادن السطحية والمواد الكيميائية عالية النقاء وغيرها من المواد الحرجة جزءًا أساسيًا من البنية التحتية للتصنيع المتقدم.
لماذا تختار جهاز EXPEC 7350S Plus لتحليل أشباه الموصلات فائق التتبع؟
بالنسبة لتحليل أشباه الموصلات فائقة التتبع، لا تتحدد قيمة الأداة بحدود الكشف فحسب، بل أيضًا باستقرار النظام وتوافق سير العمل والقدرة على دعم التطبيقات الحرجة. يجمع جهاز EXPEC 7350S Plus، المبني على منصة ICP-MS التي أثبتت كفاءتها وتم تحسينها لبيئات التصنيع المتقدمة، بين الحساسية والتوافق مع الأتمتة وسلامة النظام ودعم التطبيقات في تصميم نظام أكثر توازناً، مما يساعد المختبرات وبيئات الإنتاج على تلبية التوقعات المتزايدة لتحليل المعادن فائقة التتبع.
حساسية أعلى لمتطلبات الكشف الأكثر تطلبًا
مزود بنظام نقل أيونات متعدد الانحناءات مطور ذاتيًا، وعدسات استخلاص مزدوجة وواجهة أيون من الجيل التالي، يحقق EXPEC 7350S Plus حدود كشف دون مستوى الترددات الدقيقة. بالنسبة للمختبرات التي تراقب وتتحكم في التلوث المعدني فائق التتبع، يوفر هذا الجهاز مستوى تنافسيًا من القدرة التحليلية لتطبيقات أشباه الموصلات المتقدمة حيث تكون الحساسية أمرًا بالغ الأهمية.
مصممة لسير العمل الآلي
في بيئات أشباه الموصلات، لا يكفي الأداء التحليلي وحده؛ فتكامل سير العمل مهم أيضًا. يدعم نظام EXPEC 7350S Plus الاقتران المتكامل مع أنظمة VPD المؤتمتة بالكامل ويمكن تهيئته للرقائق مقاس 8 بوصات و12 بوصة بالإضافة إلى مواد الركائز المتعددة، بما في ذلك السيليكون وكربيد السيليكون. من خلال تمكين الأتمتة بدءًا من أخذ العينات والمعالجة المسبقة وحتى التحليل وإعداد التقارير، يساعد النظام على تقليل التباين اليدوي وتحسين الإنتاجية والتوافق بشكل أفضل مع متطلبات الاتساق والكفاءة للعمليات على نطاق الإنتاج.
سلامة النظام والاستقرار التشغيلي مدمجان في التصميم
يشتمل جهاز EXPEC 7350S Plus على بنية مطورة داخليًا عبر المكونات الرئيسية وأنظمة البرامج، ويتضمن نظام إنذار ذكي لتسرب المياه والغاز للمراقبة في الوقت الفعلي والحماية التلقائية في ظل الظروف غير الطبيعية. في البيئات التحليلية الحرجة التي تتطلب استقرارًا تشغيليًا طويل الأجل، تساعد هذه الميزات على تعزيز سلامة الأداة وسلامة المختبر وأمن البيانات.
ما التطبيقات التي يدعمها EXPEC 7350S Plus؟
بالإضافة إلى تحليل أيونات المعادن السطحية للرقائق المتقدمة مقاس 12 بوصة، تم تصميم جهاز EXPEC 7350S Plus للتطبيقات التي تشمل تحليل رقاقة كربيد السيليكون والتحليل الكيميائي الإلكتروني الرطب فائق النقاء والتحليل الكيميائي الإلكتروني الرطب فائق النقاء والتحليل الإلكتروني للغازات المتخصصة وتحليل نقاء أهداف الرش بالمعادن عالية النقاء. وهو مناسب أيضًا لمهام الاختبار الصناعية الأخرى التي تتطلب تحليل العناصر فائقة النقاء.
مع استمرار صناعات أشباه الموصلات والصناعات التحويلية المتطورة في رفع مستوى التوقعات بشأن التحكم في العمليات ونقاء المواد، يتطور دور الأجهزة التحليلية. لم تعد هذه الأنظمة مجرد أدوات مختبرية، بل أصبحت جزءًا أساسيًا من قدرات التصنيع المتقدمة. يعكس جهاز EXPEC 7350S Plus التقدم ليس فقط في حساسية الكشف، ولكن أيضًا في تكامل النظام وجاهزية الأتمتة ودعم التطبيقات الحرجة.
ستواصل شركة FPI الاستثمار في التقنيات التحليلية المتقدمة والبناء على خبرتها في مجال المقارنات المقارنة المقارنة البؤرية المقارنة - MS وخبرتها الصناعية لتقديم حلول تحليلية موثوقة وفعالة لأشباه الموصلات والمواد عالية النقاء وغيرها من الصناعات التحويلية المتطورة.
